制氧机是利用分子筛物理吸附和解吸技术，将空气中的氮气吸附，经净化处理后得到高纯度氧气。现在的氧疗氧保健设备大致分为氧浓度30%-60%的保健用氧气机、90%以上的分子筛医用制氧机以及氧气浓度更高的氧气钢瓶和便携式氧气瓶等类。在氧疗和氧康复中，吸氧过少达不到疗养效果，吸氧过度则造成危害，因此控制氧流量至关重要。
流量传感器应用于制氧机时主要用于测量进入系统的氧气的流量，以确保充足的空气供应。用于制氧机的气体流量传感器必须能够测量超低流量，通过判断患者睡眠时的呼吸节奏，根据呼吸速度快慢，控制进气泵，调节通气量大小与速度，使患者呼吸和进气频率保持一致，以提供肺部足够的氧浓度。
工采网提供的美国Siargo 质量流量传感器模块 – FS6122系列是专为急救呼吸机和家用呼吸机等呼吸回路而设计的流量传感器。产品有不同的流量范围，适用于婴儿与成人应用。 产品的机械接口为ISO-22mm，入气口与出气口采用不同的设计，防错性强，同时也将死区减小到zui小。矽翔微机电系统有限公司专有的MEMS技术，使得在保证了产品可靠性和性能的同时，价格也非常低。
美国Siargo 质量流量传感器模块FS6122系列产品特点：
专门为医疗持续正压通气（CPAP）应用而设计
直接测量质量流量和相对压力
可选配温度和湿度输出
紧凑设计，体积小，死腔小
响应时间快，可同时提供线性数字信号和模拟信号
低功耗
美国Siargo 质量流量传感器模块FS6122系列流量信号：
如今，气体质量流量计在各大行业中都广泛使用，气体质量流量计在食品、饮料、制药行业中的应用，简单介绍一下：二氧化碳处理、发酵容器中的废气流量监测、食品加工操作中新鲜空气的加入、医药行业瓶子消毒器中热空气的流量监测。优点：卓越的低流量灵敏度、直接质量流量监测、精度高。
除开以上行业以外，在其他行业中也是广泛使用的。电力行业空分装置应用：测量不同管道内的气体，并确定装置内部的气体分配情况。优点：直接质量测量，高量程比，压损小。水处理 应用：测量曝气池空气流量。优点：可以测量小流量，耐脏、耐尘、易于拆卸清洗。冶金行业 应用：高炉煤气、焦炉煤气测量、钢铁加气测量，轧钢燃气测量及控制、热处理淬火炉等氢、氧、氮等气体的控制。优点：安装简单，清洗方便、高量程比，压损小，精度高。石化、天然气行业应用：火炬气排放、烟道气、化肥厂氨气测量、天然气测量。优点：很好的小流量灵敏度、高量程比、易于拆卸并进行清洗。玻璃、制陶业及建材行业应用：煤气炉进气控制、水泥工业竖式磨粉机、排放热气流量控制，优点：直接质量流量监测、精度高、按实际组分标定。机械制造、电子行业应用：燃料电池工厂各种气体流量测量、实验室中各种高纯气体的测量。优点：无需温压补偿、卓越的低流量灵敏度、质量流量监测、高量程比压损小。
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