人们在使用热式气体质量流量控制器或质量流量计的时候，会看到流量控制器和流量计上面的常规表示单位为：SCCM或SLM；也有g/s或是kg/h等，那么这些单位的表示方法，分别代表着什么意思呢？

 

热式气体质量流量控制器

 

本公司生产的模拟式和数字式气体质量流量控制器和流量计出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量单位：SCCM表示（标准毫升每分钟） SLM表示（标准升每分钟）；气体质量流量的标定标准状况为：温度–293.15K(20℃) 压力–101325Pa（760mmHg）；常用的符号F.S（Full Scale）表示满量程。

 

热式气体质量流量计

 

也有一些MFC或MFM的表示单位为 g/s（克每秒）或kg/h（千克每小时），也是表示在标准状态下的气体质量流量的单位。不管客户选用何种表示单位，都代表的是一种标准状况下的气体质量流量，只是单位的表现形式不同而已，需要测量的质量是恒定不变的。质量流量控制器/流量计测量气体是不受温度、压力影响。质量流量控制器不但具有质量流量计的功能，它还能自动控制气体流量，可根据实际需要进行流量设定，并自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值的误差范围。

 

MFC

 

松盛测控生产的热式气体质量流量控制器和流量计以及气体动态配比装置目前应用的行业有：真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。

 

随着科学技术的发展，越来越多的气体质量流量控制器在航空航天事业中广泛应用。四川莱峰流体设备制造有限公司主要是生产热式气体质量流量控制器和质量流量计为主的厂家，LF系列的小中大流量量程的热式气体质量流量控制器和质量流量计在各行各业中都广泛使用，特别是近几年在航空航天中使用得非常多。

热式气体质量流量控制器在实际使用中发现，当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符，其实原因很简单，因为在MFC行业中，有一种参数叫CF，即气体转换系数。而MFC行业中又把N2（氮气）定义为标准气体。N2的C值为1.00，其他的气体以氮气为中心，分布在0.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02（氧气）、H2（氢气）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话，简单的分析其比率，用各自的CF值计算即可。假设MFC是用N2标定的，但是实际流过的气体是He，实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同，但大约都在1.4，所以简单的说就是He气相同示数时，是N2的1.4倍流量。反过来，如果N2流过He的MFC，实际的流量大约是1÷1.4=约0.71，少30%的流量，因此控制器发现流量不准时，考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。

LF系列的热式气体质量流量 控制器是由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路组成，采用数字信号或模拟信号输入输出，具有预热时间短，零漂小，可靠性高等特点。